|
진행 설비 |
AMAT Producer GT/SE |
| AMAT Ultima | |
| NVLS Speed, VECTOR Extreme & Express, Altus | |
| TEL TRIAS | |
| TES Challenger | |
| 원익 IPS ATTO MAHA SP / HP | |
| LAM Reserch kiyo/FLEX 등 | |
|
진행 내용 |
오염,부식,내부Leak 발생 時 |
| 장비이설 및 개조로 장기 비가동 時 | |
| Component 분해 후 세정 또는 교체 / 조립 후 검증 / 설비 장착 후 검증 | |
| 공정 변경 등으로 인한 Stick 추가 및 사용 GAS 변경에 따른 Component Spec Over |
| LDS System Utility Connection |
| TCSS Utility Connection |
| Toxice 및 Notoxice Cabicet use. OEM. ODM |
|
Vpp와 전류, 위상 차를 Reading하여 정확한 효율 측정이 가능하며, Shower Head의 효율 변화 시 Vpp 값과 전류 위상 차 변화 확인이 가능함. |
| 전압, 전류, 위상을 Reading 함으로써 P(W)=V x I x cosθ 계산하여 실제 인가되는 Power량을 Reading 할 수 있다. |